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本文標題:"購置專業高精度量測儀器-顯微鏡減少輪廓誤差"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2013-9-21 10:5:54

購置專業高精度量測儀器-顯微鏡減少輪廓誤差
 
單次電極涂布補正分析
同一芯片一次涂布之電極輪廓經由軟件補正數次后,期望電極輪廓
與芯片邊界對位誤差可以穩定于一范圍內,由實驗結果得知 x1 最大誤
差為 0.0276 mm,y1 最大誤差為 0.0137 mm,θ1 最大誤差為 0.0540°,
雖然最大誤差有較大偏差,但其它數據分布都接近理想值,持續補正
后數值皆趨近穩定,代表軟件補正具有明顯成效。

 兩次電極涂布補正分析
兩次涂布輪廓補正為最后研究成果,兩次輪廓誤差必需降低至 50
μm 內,此一實驗結果得到兩次涂布電極輪廓補正后 x 最大誤差為
0.0093 mm,y 最大誤差為 0.0111 mm,θ 最大誤差為 0.0040°,角度換
算后對應之芯片邊界位移誤差為 0.0052 mm,由數據可得知兩輪廓補
正后誤差降低至設定的目標范圍(50 μm)內,甚至更小,因此可以證明
軟件補正兩次涂布電極輪廓對位誤差有明顯的成效。
綜合以上實驗結果,兩次電極涂布對位誤差經由軟件補正后,誤差皆
降低至 50 μm 內,證明軟件補正有明顯成效。實驗中幾次發生誤差值較大
偏差,必須注意的是,網版與涂布銀膠品質的控管,如此才能確保軟件進
行影像辨識時,能完整辨識出影像邊界,以降低誤差的產生


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