本文標(biāo)題："光學(xué)量測(cè)原理顯微鏡測(cè)量微型元件三維曲面輪廓"
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光學(xué)量測(cè)原理顯微鏡測(cè)量微型元件三維曲面輪廓
應(yīng)用條紋投射法與三角攝影量測(cè)原理測(cè)量微型元件三維曲面輪廓。
藉由液晶投影機(jī)投射格雷氏編碼與馀弦亮度分佈之結(jié)構(gòu)光至微型物件表面，
經(jīng)攝影機(jī)采集影像并經(jīng)亮度線性校正后，可由此兩者還
原出絕對(duì)相位。以映射函數(shù)法完成量測(cè)系統(tǒng)校正后，
即可將待測(cè)物的絕對(duì)相位轉(zhuǎn)換為精確的輪廓高度。使
用立體顯微鏡 2X 放大率時(shí)，量測(cè)范圍為 4 ×3 mm，
其輪廓量測(cè)誤差標(biāo)準(zhǔn)差約為 5μ m；若使用 16X 放大
率時(shí)，其量測(cè)范圍約為 500 ×375μ m，其輪廓量測(cè)誤
差標(biāo)準(zhǔn)差約為 0.6μ m。
關(guān)鍵詞：三角量測(cè)法、格雷氏編碼、相位移、映射函數(shù)
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光學(xué)量測(cè)原理顯微鏡測(cè)量微型元件三維曲面輪廓,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
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