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本文標(biāo)題:"鑄鐵表面加工顯微輪廓測(cè)量?jī)x器-光學(xué)儀器"

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鑄鐵表面加工顯微輪廓測(cè)量?jī)x器-光學(xué)儀器

    顯微干涉輪廓儀的基本缺點(diǎn),是視場(chǎng)照度明顯地比干涉顯微
鏡低得多,因?yàn)樗荒苡迷趦蓚€(gè)方向都擴(kuò)展的光源,而采用窄的
發(fā)光狹縫。除此以外,又因采用兩面鏡,使儀器的制造和調(diào)整變得
復(fù)雜。因此,顯微干涉輪廓儀不能夠取代干涉顯微鏡,檢查有規(guī)
則痕跡的表面,采用干涉顯微鏡還比較合適。

 改進(jìn)型的顯微干涉輪廓儀,能正確評(píng)定被檢表面加工痕跡的深度。


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