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本文標(biāo)題:"固體表面的形貌顆粒測(cè)量(用SEM電子顯微鏡)-顯微分析儀器"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動(dòng)態(tài) ------ 人瀏覽過-----時(shí)間:2014-5-22 5:15:33

固體表面的形貌顆粒測(cè)量(用SEM電子顯微鏡)-顯微分析儀器

 
    TEM用來探測(cè)晶格缺陷的存在和相分配。最近已發(fā)展的掃
描TEM儀器能得到更寬區(qū)域的形貌,并降低高強(qiáng)度光束對(duì)樣品
的破壞。
 
    如果樣品較厚,那么相互作用發(fā)生在樣品的表面,其產(chǎn)物沿著
一定的軌跡離開表面。在掃描電子顯微鏡中((SEM ),通常檢測(cè)的
是次級(jí)發(fā)射電子,電子束橫穿樣品表面進(jìn)行掃描。對(duì)于反射技術(shù),
非金屬表面必須鍍上一層薄金屬膜(大約10nm ),例如噴鍍金膜,
防止樣品表面電荷富集。
 
    電子微探針能進(jìn)行化學(xué)顯微分析以及SEM和BSE檢測(cè),經(jīng)
常被稱作分析電子顯微鏡(AEM)或電子探針顯微鏡(EPMA ),這
是因?yàn)槿肷潆娮邮c表面作用的另外產(chǎn)物是X一射線光子,它的波
長(zhǎng)和能量取決于元素的種類和引起發(fā)射的電子層。分析這些光子
能對(duì)表面進(jìn)行局域化學(xué)分析,分辨率可達(dá)15m。使用的x一射線分
光光度計(jì)有兩種類型:
 
    ·波長(zhǎng)色散分光儀(WDS),該儀器對(duì)波長(zhǎng)進(jìn)行掃描,波長(zhǎng)與
檢測(cè)到的激發(fā)光子相對(duì)應(yīng),利用安裝在分光儀上的晶體的衍射,控
制晶面和光子束之間的角度。
 
    ·能量色散分光儀(EDS),其中一個(gè)多通道分析器產(chǎn)生光子
能譜。
 
    在這兩種情況下,譜峰對(duì)應(yīng)于特定的元素,而其峰面積對(duì)應(yīng)于
所含元素的百分含量。WDS的分辨率優(yōu)于EDS,盡管如此,到目
前為止前者僅適用于相當(dāng)少的元素。但是,對(duì)于輕元素來說,儀器
在自然狀態(tài)并采用防污染裝置,對(duì)碳以上的元索都可用WDS定
 
量分析。
 
    TEM裝置也能進(jìn)行顯微分析,EDS是目前最常用的檢測(cè)技
術(shù),與EELS一起用于檢測(cè)輕元素
 
    令人感興趣的應(yīng)用之一是固定與特定元素相對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)(或
能量)可以獲得固體表面的形貌(用SEM)或固體樣品(用STEM)
的形貌,并顯示元素的分布情況。這對(duì)腐蝕現(xiàn)象、表面,尤其是電極
表面的構(gòu)成提供了非常有用的信息。
 
    利用新發(fā)展的紅外掃描顯微鏡(SIRM)能夠補(bǔ)充EPMA提供
的信息,尤其是吸附物的原位鑒別。
 

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