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本文標題："光學圖像顯微鏡能夠獲得更高的成像分辨率"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-6-23 23:47:21

光學圖像顯微鏡能夠獲得更高的成像分辨率

事實上，可獲得的實際分辨率的典型值為0. 2 - 0.3nm,由于透鏡的各種像

差很難在電子光學系統中得到完全補償.理論分辨率從未得到過。限制分辨率的

兩種主要根R是色差和消色差(球面像差)。由于電子能量的不同(色差)或行

進路徑長短的差異(消色差)，這兩種像差導致電子束被聚焦在沿著“光”軸的

一定范國的位置上。雖然采用單色光源能夠減小色差，但非彈性散射意味著從樣

品中飛出的電子的能量是發散的。采用更薄的樣品和更高的加速電壓能夠降低非

彈性散射事件，從而能夠獲得更高的成像分辨率。采用較小的物鏡孔徑.亦即選

用接近“光”軸的電子，可以減小消色差。同時.由干角度大的散射電子不參與

形成最終的圖像，因此這也能夠提高圖像襯度。不過，當使用較小的物鏡孔徑時

理論分辨率是降低的。

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