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本文標題:"從固定的接觸點上測量電流-測量光學儀器"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2014-8-19 22:4:54

從固定的接觸點上測量電流-測量光學儀器

 
    電子束器件測試電子束探針能用來進行半導體元件的某些
特殊電學測試,并且從原理上來說優(yōu)越于機械探針,因為它可使機
械損傷減至最小,而且探針的大小可以做得非常小.它的一個缺
點是電子束能裂解試樣上面氣氛中的真空泵油,使得在半導體表
面沉積了一層薄的碳膜(這樣電子束信號的診釋可能是困難的)
因此不能獲得足夠多的數(shù)據(jù)來全面地表征元件的性能.
 
    可以使用兩種不同的操作方式.第一種是被測元件通過常規(guī)
的接觸與互連方法被偏置,而元件表面任何選定點的二次電子發(fā)
射被用來估計該點的相對電壓.
 
第二種是在元件上只作一個外連接線,而將電子束本身作為另一個連接線.
然后從固定的接觸點上測量電流.當檢測非常復雜的電路時,第一種方式是
特別吸引人的,因為它能從電壓襯度發(fā)現(xiàn)失效點

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