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本文標題:"檢測金相顯微鏡通常使用小于100倍的放大倍數(shù)"

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檢測金相顯微鏡通常使用小于100倍的放大倍數(shù)

 
    X射線形貌照相上面所述的衍射儀并不是觀察衍射效應
的唯一方法.例如,適當?shù)剡x擇x射線、試樣和底片的幾何位置.
則由位錯和層錯這樣的品體缺陷造成的附加衍射效應將產(chǎn)生缺陷
照相圖象(x射線形貌照相).照片是試樣和試樣內(nèi)部有垂直于衍
射面的柏格斯矢量的分量的所有位錯的1:1的投影復型.任何放
大都必須通過其后的底片的放大才能獲得,并且由于底片的彩.
粒度的影響,放大倍數(shù)只限于幾百倍之內(nèi).可是,在半導體工作中,
通常使用小于100倍的放大倍數(shù).因為放大倍數(shù)低,因而與電子顯
微鏡觀察相比,分辨率是差的.當位錯密度相當?shù)蜁r,這方法最
適合.形貌照相廣泛用來研究器件工藝過程中引起的損傷缺陷,
與其它方法相比,它具有非破壞性的優(yōu)點.

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