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本文標題:"光學輪廓儀型號及精度-電動測量工具顯微鏡"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2014-11-11 17:26:29

光學輪廓儀型號及精度-電動測量工具顯微鏡

 
     共焦顯微鏡  共焦顯微鏡是商用化最成功的一個光學聚集傳
感系統,最早用來進行生物樣品的檢測,在工程表面的測量上也
得到了應用。
 
干涉型光學輪廓儀
 
  (1)雙波長和多波長干涉測量最早的干涉型光學輪廓儀使用的
是單色光照明,同時使用了相移技術。使用相移技術獲得最高測量
粘度,但是單色照明卻限制了測量的范圍。為了能夠擴大測量范圍
。進一步發展了雙波長和多波長技術。如今雙波長和多波長干涉測
量原理還在全息和散斑技術是使用,用來測量大口徑元件,其間用
到了條紋投影和結構光技術。
 
  (2)白光干涉測量  白光干涉測量系統早已確立為用于工程表
面測量的主導學輪廓儀。白光干涉測量可以看做一種光學聚焦傳感
器。干涉信號的位置確定了最佳焦點,這類設備的典型結構是由一
個傳統的顯微鏡配備一個干涉物鏡組成,這種干涉測量技術上比其
他光學和探針輪廓技術而言,其優勢在于進行會場掃描而非點到點
的掃描。由于整個面積的成像是同時完成的,橫向掃描變得不再必
要,這也極大地提高了測量速度。

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