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本文標題:"微型的光學測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡"

發布者:yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間:2014-11-13 10:29:35

微型的光學測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡

 
  在常用的超精密形狀測量法中,利用光干涉的面
形測量法運用的最多。干涉測量法的應用前提是必
須要保證基準元器件的精度,但如何保證其精度是
現在面臨的主要問題之一。而且目前非球面形狀的
干涉測量法仍舊不成熟,這也是現在需要解決的關
鍵問題之一。鑒于干涉法對振動或環境的適應很弱
的情況下,該測量方法更傾向于大型化的光學系統
測量,而不是傾向于微型的光學測量或機械測量。
 
與此相對應的是,掃描測量方法可以實現球面或平
面,以及非球面等多種形狀的簡單在線測量。
 
  一般的, 在掃描測量法中,需先確定好嚴格的測
量基準,然后開始對對被測物體進行掃描,以此查
 
獲得被測量物的相對位置變化或相對角度等。根據
母性原理,掃描測量法和測量精度由以下兩個因素
 
決定:
  (1)傳感器的檢測精度
  (2)掃描基準的運動精度
 

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