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本文標(biāo)題:"由于在1大氣壓下不論是碳或碳化硅都不熔融-材料顯微鏡"

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由于在1大氣壓下不論是碳或碳化硅都不熔融-材料顯微鏡

 
  最近的硅——鍺
  合金系的電性測(cè)量證明了硅——鍺合金的半導(dǎo)體性能表現(xiàn)出在
單質(zhì)間的平滑變化關(guān)系,合金半導(dǎo)體的存在,其中禁帶寬度可能
隨成分而改變,這對(duì)于半導(dǎo)體工作者有著相當(dāng)大的意義,并且能
夠用以制得其他途徑所不能制成的器件。
  硅——鍺
  實(shí)際上,鑒于碳化硅的形成自由能很小,固相碳化鍺的不穩(wěn)定
性是不足為奇的,這是固體硅與碳的高的鍵能的結(jié)果,于是鍺-
碳鍵能只要稍小于碳化硅時(shí)。則不致出現(xiàn)固相碳化鍺。
  碳化鍺中或碳鍺在碳中都沒有固溶體,在鍺錠中有萬分這之幾
的碳,但是他不骨確定這些數(shù)量的碳是溶解于鍺晶格中或以第二
相包襄物存在。
  無碳化鍺固體存在并不妨礙在碳化硅晶格內(nèi)的硅原子大量被鍺
取代,三元相圖文并茂假定鍺取代了碳化硅中一部分硅,碳化硅
-碳化鍺泥溶的可能性導(dǎo)致考慮在三元系中一組新的有意義的半
導(dǎo)體材料。
  任何三元系的最可行的研究方法是研究任意成分點(diǎn)的均勻液相
的冷卻試樣,但由于在1大氣壓下不論是碳或碳化硅都不熔融,
所以這個(gè)通常的研究方法對(duì)于三元系的大部分區(qū)域都不可能適用
,而應(yīng)用一般設(shè)計(jì)的爐子內(nèi)所能獲得的中等程度的壓力將會(huì)使三
元系中液相區(qū)域顯著地?cái)U(kuò)大。
  另外一個(gè)應(yīng)當(dāng)采取的研究途徑是借用擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)研究極限溶解度
與擴(kuò)散系數(shù),這種實(shí)驗(yàn)技術(shù)是眾所周知的,與制備半導(dǎo)體器件所
采用的技術(shù)相似,從冶金學(xué)的觀點(diǎn)出發(fā),研究硅、鍺與碳在碳化
硅中的擴(kuò)散作用應(yīng)當(dāng)是極有意義的,同時(shí)也為設(shè)計(jì)碳化硅或碳化
鍺硅半導(dǎo)體器件提供了所需要的資料。
 

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