本文標題："碳化硅晶體形貌科研分析圖像顯微鏡制造廠商"
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碳化硅晶體形貌科研分析圖像顯微鏡制造廠商
關(guān)于碳化硅晶體的內(nèi)部結(jié)構(gòu)及其晶面
蜷線顯微形貌的某些特征
應用多光束干涉法測定了碳化硅晶面上的顯微形貌 ，根據(jù)X射線
的研究結(jié)果討論了碳化硅表面形貌與其內(nèi)部結(jié)構(gòu)的密切關(guān)系。
碳化硅晶體有兩種特性：一方面是晶面的螺旋——層狀結(jié)構(gòu)，另
一方面是多型性，亦即內(nèi)部結(jié)構(gòu)的超周期性；毫無疑義，這兩種性
質(zhì)是彼此聯(lián)系的。
就對碳化硅晶體晶面上的許多蜷線進行過研究，并不提出了這樣
的假定，即蜷線梯階的高度應該等于梯階高度方向的點陣參數(shù)或是
它的倍數(shù)，同時，“有規(guī)律的晶面蜷線層引起碳化硅晶體獨有的多
層超結(jié)構(gòu)的形成”在研究SIC的結(jié)構(gòu)時指出，SIC晶體中的超周期性
與生長周期性的重復破壞有關(guān)。
研究晶面所屬的形貌學和驗證上述假設(shè)，碳化硅是一種非常適宜
的對象，由于高硬度，耐酸性以及其他的一些性質(zhì)，在制備時，這
些晶體的表面不致有任何的變形在化學清洗時也不會有任何的變化
。
我們的注意力曾集中于研究幾乎平滑的晶面的顯微形貌，若此時
晶體的軸垂直于爐心，則晶面通常在晶體面向爐子外圈的一面生長
；“相反”的一面，即在面向爐心的晶面上，通常可以看到骨架的
形成，這些晶面的蜷線的顯微形貌是多種多樣的，無論是“圓形的
”或多角形的，一圈的或多圈的，右旋的或左旋的蜷線都有發(fā)現(xiàn)，
蜷線各種不同的結(jié)合情況也都曾觀察過，因為在最近發(fā)表的許多著
作中，都可以找到有關(guān)說明，在此我們不再重復論述。
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