本文標(biāo)題："覆層厚度測量的方法-電容技術(shù)測量覆層厚度"
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覆層厚度測量的方法-電容技術(shù)測量覆層厚度
電容法適用予金屬基體上非導(dǎo)電的
薄覆層厚度的測量，如鋁管材和鋁容器上的環(huán)氧漆等。微波法可用來
測量介質(zhì)基體上的介質(zhì)覆層厚度，特別是象測量石英玻璃上的鉻鍍
層厚度，測量厚度可達(dá)0．01μm。熱電勢法適合于鐵基體上鎳鍍層
厚度的測量．石英振蕩法特別適合予沉積層沉積過程中的厚度監(jiān)
控。輪廓儀法用于測量lum以下厚的覆層有很高的準(zhǔn)確度。機械
法象在油漆涂覆過程中厚度檢測也有其特別簡便之處．因此，
在一定的范圍內(nèi)得到應(yīng)用．
電壓擊穿法曾被用于測量鋁陽極氧化膜厚度，但由于屬破壞
法、可靠性低，而被渦流法無損測量所取代。超聲波法測厚可用
來測量較厚的覆層，但更普遍的是用于板材和管材等厚度的測
量；對于較薄的覆層厚度，如在100μm以內(nèi)厚的覆層尸測量準(zhǔn)確
度很低，甚至根本不能進(jìn)行測量．總之，這些測匣法應(yīng)用都很少，
因而不作專門的介紹。
電容法覆層厚度測量
當(dāng)基體材料為鐵磁材料，而且其磁導(dǎo)率變化范圍較大，用磁
法測量覆層厚度就不適宜；同樣當(dāng)基體材料為導(dǎo)電材料時，其電
導(dǎo)率變化范圍也較大，且基體厚度彼薄，如鋁箔，也不宜于用渦
流法來測量其覆層厚度。在這種情況下，利用電容法來測量其非
導(dǎo)電覆層厚度是很適宜的。
電容法覆層厚度測量實際上是以規(guī)定大小的金屬片作為測
頭，將它放在有非導(dǎo)電覆層的被測金屬件上，測頭上金屬片作為
電容的一極，而被測件基體金屬作為電容的另一極，兩金屬片間
由于非導(dǎo)電覆層的存在而形成電容，其容量大小是隨覆層厚度的
不同而變化的．
分度曲線，從而能快捷地確定出覆層厚度。
在電容法覆層厚度測量中，當(dāng)測頭置于被測件邊緣處，或表
面曲率變化，或測頭磨損以及溫度、濕度等變化都會對被測電容
量產(chǎn)生一些影響；由于電容法測量頻率較高，外電磁場的干擾，
以及基體電導(dǎo)率、磁導(dǎo)率變化帶來電阻和電感量的某些變化，也
將對測量產(chǎn)生一定的影響，都應(yīng)加以注意和消除。
利用電容法測量覆層厚度，覆層愈薄，測量靈敏度愈高．電
容法測量覆層厚度的范圍為lOO微米以內(nèi)，可測的最大厚度可達(dá)
350微米，通常測量誤差是±5％．
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