本文標題："非球面表面紋理公差與球面的表面紋理計量顯微鏡"
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非球面表面紋理公差與球面的表面紋理計量顯微鏡
表面紋理
表面紋理的公差可以根據標準規(guī)定標注。光學元件所需要的拋
光質量可以采用四個拋光等級中的一個等級進行標注，而拋光等級
由光學表面上所允許的最大麻點數量來定。這些麻點可以在指定距
離處采用探測器掃描探測獲取，例如采用具有適當小直徑探頭的探
針進行測量。
非球面的表面紋理公差與球面的表面紋理公差一樣。非球面元
件的參數轉換
目前，有關描述和表征非球面光學元件的信息是通過多種不同
的形式生成和發(fā)布的。對于不同測量儀器(例如干涉儀，輪廓儀)的
用戶界面、不同的加工設備(例如銑磨機、拋光機)，在光學設計程
序中使用不同的數學公式，并獲得的不同的技術圖紙。圖紙中非球
面表面的參數可能可以直接用于一臺加工設備，而當使用另一臺設
備加工時，則需要將一些參數進行轉換。雖然一些公司可以實現(xiàn)非
球面參數數據的轉換處理和校正，但是通常情況下，不同體系間的
數據轉換不但困難、費時，而且產生一定的風險。
像差從物理學方面可以理解為點光源發(fā)出的光學波前的變形
。一點光源發(fā)出一球面波，通過光學系統(tǒng)的人瞳，當穿過光學系統(tǒng)
時，受到孔徑衍射、設計誤差和制造誤差的影響而不可避免地發(fā)生
變形，這一變形的球面波前離開出瞳，在像平面上會形成一帶有像
差的模糊光斑。但是，由于衍射是光線作為信息載體的一種物理現(xiàn)
象，不可能消除，因此，不管在什么情況下，我們只能獲得帶有衍
射的圖像。另外，光學系統(tǒng)本身就是一低通濾波器，將代表高頻率
空間結構的成分濾掉。
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