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本文標題:"制作的繞射式元件所量測焦距的方式-光學常識"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2013-3-6 10:8:14

 制作的繞射式元件所量測焦距的方式-光學常識

 
預知并了解所設計的元件的特性。
對于使用 BOE 溶液來蝕刻石英,其目的是要將經(jīng)由活性離子蝕
刻后的灰階微透鏡之石英,使其表面的形狀緩和,若在 BOE 溶液中
浸泡太久會有側(cè)向蝕刻的情況產(chǎn)生,會造成元件表面的圖形走樣而
使得元件的特性改變,因此在浸泡 BOE 溶液時,時間需要拿捏在幾
秒中就可以達到讓 3D 元件的表面緩和并不會破壞元件的圖形,而
影響其繞射效果。
 
對于之前制作的繞射式元件所量測焦距的方式有:杜曼-格林干涉
法和云紋干涉法兩種,對于長焦距的灰階微透鏡而言,使用這兩種
的量測方式誤差范圍大約在 2%左右,但對短焦距的八階微透鏡而
言,目前只能用云紋干涉法來量測,也因元件的尺寸太小造成在元
件尺寸內(nèi)的條紋數(shù)過少,因此對焦距的量測上會有 40%的大幅度誤
差,其解決的方案是在增加八階微透鏡移動的距離時,使量測之單
位長度條紋數(shù)改變量增加,以提高焦距量測的精確度
 

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