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本文標題:"電子顯微鏡SEM觀察S具有放大倍率高景深長的優(yōu)點"

發(fā)布者:yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間:2013-3-17 10:23:24

 掃描式電子顯微鏡(SEM)觀察SEM 具有放大倍率高、景深長之優(yōu)點,

 
對于試片的細微結(jié)構(gòu)及立體型態(tài)可做清晰觀察。本實驗將配合使用背向電子偵測器(BEI),觀察介面處是否有不同相生成。
 
此偵測器主要是利用輕元素其背向電子訊號較弱,重元素的背向電子訊號較強,
 
來分辨不同組成的相。亦將使用 SEM 上加裝之能量散佈光譜儀(EDS)來對生成的相做粗略的組成分析以利 EPMA 分析。 
 
在 SEM 下觀察之影像可藉其附屬的照相系統(tǒng)拍照并傳輸至電腦中,
透過影像處理軟體 Optimas(Ver6.1)可進行影像處理及各相反應(yīng)、生成物厚度的量測。以生成物的厚度為例,是先利用軟體求得生成物面積再去除以反應(yīng)介面的長度來求得

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