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本文標題："小透鏡、微形模具及其它小形極精密組件檢測顯微鏡"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間：2013-4-23 10:6:57

線性軸解析度為1nm，對旋轉軸為0.00001°，于直線，NC指令實際跟蹤速率達±2nm，于分度法為±5/100,000°，

此極佳之伺服追蹤能力被稱為“全無摩擦之奈米伺服技術(所有線性滑塊與螺旋為氣靜壓軸承)”。

此外，系統是密封于空氣浴溫控單元內，其溫度可控制達0.01℃，以去除熱成長誤差。

加工鏡面、過濾器、柵格、液晶顯示器板、小透鏡、微形模具及其它小形極精密組件，

大部分組件須約5分鐘加工，圖2a為具高深寬比梯形溝槽之黃銅組件，開放角3°，溝槽間距35mm。

高深寬比之梯形溝槽于半導體加工很普遍，然而側璧粗糙度及ROBOnano加工溝槽之底部邊緣尖銳度遠

優(yōu)于半導體加工使用之其它方法。圖2b于雙聚焦透鏡模具包含35mm寬及可改變V角度之深度連續(xù)

曲線V溝槽，此外，三維自由曲度表面，如4×4凸形透鏡排列，可利用ROBOnano加工，

材料可為黃銅與矽，透鏡間距290mm，直徑236mm，高16mm，R 448mｍ

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