本文標題："微機電研發微小元件檢測工具顯微鏡廠商"

微機電研發微小元件檢測工具顯微鏡廠商

微機電系統之定義

MEMS系統的研發領域，是極具未來性和前瞻性科技，世界各國期望經由MEMS的研發領域，
是極具未來性和前瞻性科技，世界各期望經由MEMS的研發，其創廿一世紀新科技，以作為推動工業發展的動力，
并作為改善人民生活、促進經濟繁榮的重要手段。而我國歷經四十年來的快速成長后，

拓工業新的成長空間，我國必須提升技術層次，發展高科技及附加價值高的新興產業，
開發具發展力的產品與主要技術，期望能帶動其他產業的發展，
而MEMS系統的研發正好提供了一個具有發展力及前瞻性的方向。

由于微機電系統是一個新的領域，微機電系統（MEMS）的定義大致可分為兩大類，
第一類認為微機電系統本身的大小在微米（μm）的范圍（即0.5~500μm）
，第二類認為微機電系統是能達到微米以內的運動精度的機械，而機械本身的大小沒有限制

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