本文標題："超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析電子顯微鏡"
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超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析電子顯微鏡
超光滑表面微觀形貌檢測儀器分析與選擇
目前，超精密表面形貌的測量與評定已成為國內外學者研究的
重要方向。由于近年超精密表面測量儀器和測量方法的逐步完善，
使得納米級表面測量技術快速發(fā)展起來，但是隨之問題也逐漸暴露
出來。由于對超精密表面的檢測沒有統(tǒng)一的標準和測量儀器，用不
同測量儀器檢測的結果差異很大，無法斷定哪一種方法測得的表面
形貌更接近真實表面、可信度更高。因此，需要對常用檢測超精密
表面微觀形貌的方法與儀器原理、性能進行分析論述，分析這幾種
測量儀器的誤差成因．空問分辨率及適用范圍，以期能找到滿足測
量要求的儀器，得到比較可靠的測量結果，為準確地測量超精密表
面提供依據。
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