本文標題："精密制造超精密零件表面的物理和幾何檢測顯微鏡"
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精密制造超精密零件表面的物理和幾何檢測顯微鏡
三維表面微觀形貌的表征與檢測
往關于表面粗糙度儀的表征參數都是在某一法向截面所截得的輪廓線上
進行評定，用僅能表征該條輪廓線特性的二維評定參數來代表整個表面
輪廓功能的統計特性是不科學、不全面的，而且也無法真實地反映表面
的功能特性。近年來，精密制造領域對超精密零件表面的物理和幾何性
能也提出了非常苛刻的要求，其加工質量和表征方法必須全面、科學，
各測量設備制造商也推出了具備三維測量功能的產品，以增強其市場的
競爭能力。于是，取得表面的真實三維信息并進而提出反映表面功能特
性的三維評定參數就成為當今表面計量領域的研究熱點和發展趨勢。原
子力顯微鏡具有很好的三維測量與表征能力，通過AFM三維測量方法研
究、三維表征參數與采樣條件研究，可以形成滿足國際標準的AFM三維
測量理論，制造出符合國際標準的AFM表面三維形貌測量儀器。維表面
微觀形貌的檢測技術與國際標準表征
由于計算機技術、電子技術、數據處理能力的提高，出現了許多三
維表面微觀形貌測量儀器，如三維觸針輪廓儀、非接觸式光學相移干涉
儀、三維光學觸針儀和白光干涉儀等，使得三維微觀形貌測量儀走入商
品化和實用化
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